현황: 특허 무효화 판단으로 소송 쟁점 축소
특허심판원이 9월 3일 람리서치의 '프로세스 챔버에서 프로세스 제외 및 프로세스 실행의 영역들을 규정하는 장치' 특허(등록번호 1468221)에 대해 무효 판단을 내렸다. 청구항 4~23항 전체가 무효라는 판정이다. PSK와 람리서치 간 특허침해소송에서 PSK가 무효분쟁으로 대응해온 결과다.
이 특허는 지난 8월 서울중앙지방법원의 침해소송 변론기일에서 람리서치가 침해 주장을 이미 철회한 상태였다. 따라서 무효 판정이 최종 확정되더라도 현 소송의 쟁점에는 직접 영향을 미치지 않는다. 하지만 람리서치의 소송 전략 변화를 보여주는 신호로 해석된다.
배경: 특허 유효성 판단의 반복과 전략 전환
이 특허는 특허 판정 과정에서 여러 번 입장이 바뀌었다. 2023년 2월 특허심판원이 유효라고 판단했지만, 2024년 8월 특허법원이 그 심결을 취소하며 무효라고 판정했다. 이후 2024년 10월 특허심판원에 무효심판 환송사건이 접수되어 이번 판단에 이르렀다.
람리서치는 특허의 생명력을 연장하려 정정심판까지 청구했으나, 2026년 8월 특허심판원이 정정심판을 기각했다. 정정심판은 특허가 무효될 가능성이 클 때 특허권자가 청구하는 절차로, 이 기각은 람리서치의 방어 수단이 더 이상 남지 않았음을 의미한다.
PSK는 2021년 베벨 에처(웨이퍼 가장자리의 불필요한 박막을 제거하는 장비)를 개발해 SK하이닉스에 공급했으며, 이에 람리서치가 특허침해소송을 제기한 경우다.
남은 쟁점: 플라즈마 에칭 챔버 특허 1건의 결정적 변수
8월 침해주장 취하로 현재 소송의 쟁점 특허는 '플라즈마 에칭 챔버' 특허(등록번호 1249247) 1건만 남아있다. 특허권자는 참엔지니어링이고, 람리서치는 독점사용권을 보유 중이다. 이 특허는 반도체 웨이퍼 테두리 부분을 플라스마로 정밀하게 깎는 챔버 구조를 설명한 기술로, 중앙의 절연 패널과 테두리의 패널 링이 핵심 구성 요소다.
특허침해소송에서는 특허 1건, 청구항 1개항만 침해가 입증돼도 특허권자가 승리하므로, 이 남은 특허의 유효성 판단이 전체 소송의 결정적 변수가 된다. 람리서치가 쟁점 특허를 1개로 압축한 것은 다른 특허들의 약점을 인식한 선택이자, 1249247 특허에 승산을 더 많이 걸었음을 의미한다.
특허 분쟁이 길어지는 가운데 반도체 산업의 기술 진화는 계속되고 있다. 베벨 에처와 플라즈마 에칭 챔버 모두 첨단 반도체 공정의 핵심 장비인 만큼, 이 소송의 결과는 국내 장비 업체들의 특허 전략 수립에 참고할 만한 사례가 될 것이다.
결론
PSK-람리서치 특허소송은 특허 판정 번복 과정을 거쳐 쟁점이 1건으로 압축됐다. 람리서치의 연거푸한 특허 취하와 정정심판 기각은 남은 특허 외에 승산이 낮다는 판단으로 읽힌다. 향후 1249247 특허의 유효성과 침해 여부 판정이 소송의 최종 결과를 결정할 것이다.
다음 단계
- 남은 1249247 특허에 대한 PSK의 무효분쟁 동향 주시
- 특허법원 침해 판정 일정 확인 및 대응 준비 (특허·장비 업계)
- 국내 장비 업체들의 유사 기술 개발 시 이번 무효화 판례 참고
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